Reparatur dieser Komponente anfragen.
Über das Anfrageformular übermitteln Sie uns Informationen zu Ihrer Komponente: Artikelnummer, kurze Fehlerbeschreibung sowie Angaben zu früheren
Servicemaßnahmen. Unsere Engineers prüfen, ob Reparatur, Überholung, Nachrüstung oder Austausch nach OEM-Standard die wirtschaftlichste Lösung ist.
SFI verlängert die Lebensdauer von RF-Generatoren, Power Supplies, PCB-Boards, Handling-Robotern, Motoren und Plasma-Generatoren in ETCH-, CVD-, PVD- und IMPL-Prozessen. Mehr über unseren Reparatur- und Refurbishment-Service erfahren Sie auf unserer Service-Seite. Alternativ durchsuchen Sie unsere Reparatur-Artikelliste direkt nach passenden Komponenten.
Seriennummer
0190-41326
Nachhaltigkeit
Reparieren statt ersetzen: Lifetime Extension nach OEM-Standard.
Remote-Plasma-Quellen (RPS), auch als Remote-Plasma-Generatoren bezeichnet, erzeugen reaktive Spezies für Reinigungs- und Abscheideprozesse in ETCH, ASH, CVD und PVD. SFI repariert und überholt RPS herstellerunabhängig und OEM-konform, inklusive dokumentierter Prüfung der Leistungs- und Zündparameter. Die Reparatur hält bewährte Quellen im Einsatz, statt sie durch Neugeräte zu ersetzen.
Alle Leistungen erfolgen nach OEM-Spezifikationen, eingebettet in ein nach ISO 9001:2015 zertifiziertes Qualitätsmanagementsystem, mit dokumentierten Prüfverfahren und lückenloser Rückverfolgbarkeit. SFI gewährt auf reparierte Komponenten die gesetzliche Gewährleistung nach deutschem Recht; die konkreten Bedingungen werden im jeweiligen Festpreis-Angebot dokumentiert.