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Mattson RF Match ICPSM

Reparatur und Überholung

P/N

Hersteller

Gerätegruppe

553-09908-00

MATTSON

RF Match

Reparatur dieser Komponente anfragen.

Über das Anfrageformular übermitteln Sie uns Informationen zu Ihrer Komponente: Artikelnummer, kurze Fehlerbeschreibung sowie Angaben zu früheren 
Servicemaßnahmen. Unsere Engineers prüfen, ob Reparatur, Überholung, Nachrüstung oder Austausch nach OEM-Standard die wirtschaftlichste Lösung ist.

SFI verlängert die Lebensdauer von RF-Generatoren, Power Supplies, PCB-Boards, Handling-Robotern, Motoren und Plasma-Generatoren in ETCH-, CVD-, PVD- und IMPL-Prozessen. Mehr über unseren Reparatur- und Refurbishment-Service erfahren Sie auf unserer Service-Seite. Alternativ durchsuchen Sie unsere Reparatur-Artikelliste direkt nach passenden Komponenten.

Seriennummer

553-09908-00

Nachhaltigkeit

Reparieren statt ersetzen: Lifetime Extension nach OEM-Standard.

RF-Matchen (Anpassnetzwerke) sorgen für die Leistungsanpassung zwischen RF-Generator und Plasma. SFI repariert und überholt RF-Matchen und Auto-Tuner herstellerunabhängig und OEM-konform, inklusive dokumentierter Prüfung der Abstimm- und Anpassfunktion unter Last. Unterstützt werden Geräte führender Hersteller wie MKS, Advanced Energy und ENI.

Alle Leistungen erfolgen nach OEM-Spezifikationen, eingebettet in ein nach ISO 9001:2015 zertifiziertes Qualitätsmanagementsystem, mit dokumentierten Prüfverfahren und lückenloser Rückverfolgbarkeit. SFI gewährt auf reparierte Komponenten die gesetzliche Gewährleistung nach deutschem Recht; die konkreten Bedingungen werden im jeweiligen Festpreis-Angebot dokumentiert.

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