Reparatur dieser Komponente anfragen.
Über das Anfrageformular übermitteln Sie uns Informationen zu Ihrer Komponente: Artikelnummer, kurze Fehlerbeschreibung sowie Angaben zu früheren
Servicemaßnahmen. Unsere Engineers prüfen, ob Reparatur, Überholung, Nachrüstung oder Austausch nach OEM-Standard die wirtschaftlichste Lösung ist.
SFI verlängert die Lebensdauer von RF-Generatoren, Power Supplies, PCB-Boards, Handling-Robotern, Motoren und Plasma-Generatoren in ETCH-, CVD-, PVD- und IMPL-Prozessen. Mehr über unseren Reparatur- und Refurbishment-Service erfahren Sie auf unserer Service-Seite. Alternativ durchsuchen Sie unsere Reparatur-Artikelliste direkt nach passenden Komponenten.
Seriennummer
0190-16551
Nachhaltigkeit
Reparieren statt ersetzen: Lifetime Extension nach OEM-Standard.
RF-Generatoren gehören zu den kritischsten Komponenten plasmabasierter Halbleiterprozesse wie ETCH, ASH, CVD, PVD und IMPLANT. SFI repariert und überholt RF-Generatoren herstellerunabhängig und OEM-konform – mit Funktionstest unter realer Last und dokumentierten Prüfprotokollen. Der gängigste Frequenzbereich ist 13,56 MHz; daneben werden auch 27-MHz- und 2-MHz-Systeme instand gesetzt. Unterstützt werden Geräte führender Hersteller wie MKS, Advanced Energy, ENI, Comdel und Daihen.
Alle Leistungen erfolgen nach OEM-Spezifikationen, eingebettet in ein nach ISO 9001:2015 zertifiziertes Qualitätsmanagementsystem, mit dokumentierten Prüfverfahren und lückenloser Rückverfolgbarkeit. SFI gewährt auf reparierte Komponenten die gesetzliche Gewährleistung nach deutschem Recht; die konkreten Bedingungen werden im jeweiligen Festpreis-Angebot dokumentiert.